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單片清洗

本設(shè)備可應(yīng)用于爐管前清洗、干法刻蝕工藝后光刻膠去除、氧化物濕法刻蝕或去除、氮化硅膜層濕法去除、剝離去除不同的金屬或非金屬膜層等工藝。

025-57255189
參數(shù)描述

主要規(guī)格：

1、可清洗物：300mm厚度0.75mm

2、處理方法：?jiǎn)纹角逑?/p>

3、處理速度：200-300片/h (根據(jù)recipe及處理腔配置變化)

4、設(shè)備內(nèi)清凈度：Class1（0.1um 小于10pcs/m3）

5、路徑線：FOUP高度900±5mm，對(duì)接天車上下料

6、搬送方式：真空吸盤機(jī)械手

 

優(yōu)勢(shì)：

1、處理腔室獨(dú)立，無(wú)交叉污染風(fēng)險(xiǎn)。

2、高精度配液與濃度檢測(cè)，化學(xué)品可回收循環(huán)利用。

3、配置高壓噴淋和兆聲波輔助技術(shù)，減少表面缺陷40%，提升良率3%-5%。

4、可配置毛刷機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)正反面刷洗。

主要規(guī)格：

1、可清洗物：300mm厚度0.75mm

2、處理方法：?jiǎn)纹角逑?/p>

3、處理速度：200-300片/h (根據(jù)recipe及處理腔配置變化)

4、設(shè)備內(nèi)清凈度：Class1（0.1um 小于10pcs/m3）

5、路徑線：FOUP高度900±5mm，對(duì)接天車上下料

6、搬送方式：真空吸盤機(jī)械手

 

優(yōu)勢(shì)：

1、處理腔室獨(dú)立，無(wú)交叉污染風(fēng)險(xiǎn)。

2、高精度配液與濃度檢測(cè)，化學(xué)品可回收循環(huán)利用。

3、配置高壓噴淋和兆聲波輔助技術(shù)，減少表面缺陷40%，提升良率3%-5%。

4、可配置毛刷機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)正反面刷洗。