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有機清洗設(shè)備（SORUPENTO-STATION）

本設(shè)備是6寸硅片籃子(CASSETTE)用自動蝕刻清洗設(shè)備。 由設(shè)備本體和Pump Unit和控制盤組成。

025-57255189
產(chǎn)品描述

1.輸送：6寸硅片的2籃(CASSETTE)搬送
2.清洗方法：一次性(多個)清洗
3.流動方向：左→右的3臺機器人搬運
4.控制方式：PLC
5.藥液供應(yīng)方法：CCSS方式
6.過程：

1.輸送：6寸硅片的2籃(CASSETTE)搬送
2.清洗方法：一次性(多個)清洗
3.流動方向：左→右的3臺機器人搬運
4.控制方式：PLC
5.藥液供應(yīng)方法：CCSS方式
6.過程：

外觀圖