本設(shè)備是將8′′硅片25片1籃子(CASSETTE)6籃 為1組,使用1臺(tái)無(wú)塵烘箱和投入口,取出口 側(cè)的搬送機(jī)器(Robot),可一次性處理1組 的附帶搬送機(jī)的自動(dòng)籃子(CASSETTE)無(wú)塵烘箱。
1.處理硅片:裝有8′′石英硅片25片的籃子(CASSETTE)×6
2.搬運(yùn)方式:自動(dòng)/手動(dòng)
3.無(wú)塵烘箱內(nèi)溫度:MAX140°C
4.無(wú)塵烘箱內(nèi)清潔度:Class10 0.3μmRT
5.外形尺寸:2590(W)×1400(D)× 2400(H)
1.處理硅片:裝有8′′石英硅片25片的籃子(CASSETTE)×6
2.搬運(yùn)方式:自動(dòng)/手動(dòng)
3.無(wú)塵烘箱內(nèi)溫度:MAX140°C
4.無(wú)塵烘箱內(nèi)清潔度:Class10 0.3μmRT
5.外形尺寸:2590(W)×1400(D)× 2400(H)

